1｜Alümina ve Uygulamaları Üzerine Tartışma Alümina seramikler, izolasyonu, yüksek-sıcaklık direnci, aşınma direnci, korozyon direnci ve yüksek kimyasal kararlılığı nedeniyle yarı iletkenler, yeni enerji ve ileri düzey elektronikler gibi alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır. Özellikle alümina seramikler, vakum ve yüksek sıcaklıklar gibi aşırı ortamlara iyi uyum sağlayabildiğinden, onları yarı iletken ekipmanlardaki proses bileşenleri için hammadde olarak uygun hale getirir. Mükemmel malzemelere sahip olmak tek başına yeterli olmaktan uzaktır; bu malzemelerin özelliklerini tam olarak gerçekleştirmek ve hassas üretimde daha büyük atılımlar elde etmek için ileri teknoloji ekipmanlarda veya süreçlerde mükemmel işleme teknikleri de gerekir. Örneğin, yarı iletken ekipmanlarda kullanılan gaz nozülleri, genellikle alümina seramik malzemelerle elde edilen güçlü korozyon direncine ihtiyaç duyar. Nozülün optimum kontrol performansı elde etmesini sağlamak amacıyla, gaz/sıvı akış hızının ve hacminin doğru şekilde kontrol edilmesini sağlayan iyi bir mikro delik yapısı oluşturmak amacıyla hassas mikro-delik işleme teknolojisi gerekir. Bu nedenle alümina ile iyi işleme teknikleri arasındaki ilişki karşılıklı olarak güçlenmektedir.
2｜Alümina Mikro Gözeneklerin İşlenmesini Tartışmak Seramik işleme her zaman zor olmuştur. Öncelikle sert ve kırılgan bir malzemedir; geleneksel mekanik delme yöntemlerinin kullanılması kolaylıkla mikro-çatlaklara ve ufalanmaya neden olur, bu da verimin sağlanmasını zorlaştırır. İkinci olarak, yalıtkan bir malzemedir ve iletken değildir{{4}, dolayısıyla yüksek-hassasiyetteki elektrik deşarjlı işleme kullanılamaz. Femtosaniye lazerlerin ortaya çıkmasından önce, alümina seramik mikro gözeneklerin yüksek-hassas, yüksek-kaliteli işlenmesini sağlamak zor bir işti. Bununla birlikte, yüksek hassasiyet ve yüksek kalite nasıl değerlendirilebilir? Başka bir deyişle, mikro gözenek işleme göstergelerinin iyi mi yoksa kötü mü olduğunu nasıl değerlendireceğiz? İki yönün olduğuna inanıyorum: mikro gözenek boyutu ve mikro gözenek morfolojisi.
1. Mikro gözenek boyutu şunları içerir: delik çapı ve doğruluğu, yuvarlaklık, koniklik, vb. Bu üç gösterge öncelikle mikro gözeneğin üç-boyutlu boyutunu yansıtırken doğruluk, ideal değer ile işleme teknolojisi tarafından elde edilebilecek gerçek değer arasındaki sapmayı temsil eder.
2. Mikro gözenek morfolojisi şunları içerir: yüzey morfolojisi ve yan duvar morfolojisi. Bu iki gösterge temel olarak delik girişinde ve iç duvarda yeniden erime tabakası, ufalanma, sıçrama, çatlak veya yüzey düzgünlüğü olup olmadığını- inceler. Bu göstergeler ışık ışınlarının, gazların ve sıvıların nüfuzunu etkiler ve ayrıca ürünün güvenilirliğini ve hizmet ömrünü de etkiler.
3｜Alüminanın Femtosaniye Lazer İşlemesini Tartışmak Son teknoloji mikro delik işleme teknolojisi olarak femtosaniye lazer, alümina işlenmesinde önemli avantajlar göstermektedir. Ultra-kısa darbe genişliği ve son derece yüksek tepe gücüyle, herhangi bir katı maddeyi erimiş halden geçmeden yok edebilir. Mikrometre-ölçekli ince gravürüyle birleşen mikro delikler, mükemmel yuvarlaklıkla son derece hassastır. Üstelik femtosaniye lazerlerin soğuk işlenmesi, alüminanın yüzeyinde veya iç duvarlarında yeniden kalıplanmış katmanların, mikro çatlakların oluşumunu önler ve malzemenin sararmasına veya kararmasına neden olmaz. Başka bir deyişle, alümina seramiklerin işleme yöntemi veya bileşim oranı ne olursa olsun, femtosaniye lazerler ultra-yüksek hassasiyetli, yüksek-kaliteli mikro delik işlemeyi başarabilir. Şu anda, femtosaniye lazerler minimum 0,02 mm çapında (kalınlık 0,2 mm) ve ±1μm hassasiyetinde mikro delik işlemeyi başarabilmektedir. Bu tür mikro delik işlemeyi gerçekleştirebilecek başka teknolojiler biliyor musunuz?
