Hepimizin bildiği gibi, dünyada EUV litografi üretebilen tek bir üretici vardır.Hollanda'nın ASML'si.
Dünyada tek bir üretici olmasının nedeni, ASML'nin bir Alman optik şirketi olan Zeiss (Zeiss), Cymer (ABD) gibi birçok önemli üreticiyi birbirine bağlamış olmasıdır.TRUMPF (Almanya).
ASML, bu üreticileri yatırım, satın alma, hissedarlık, araştırma merkezlerinin kurulması vb. EUV litografi üretin.
Bununla birlikte, son zamanlarda, ASML'nin önemli bir tedarik zinciri, bir fabrika inşa etmek için Çin'in Shenzhen kentine koştu ve Shenzhen yan kuruluşu, Baoan Sino-German (Avrupa) Endüstriyel Gösteri Parkı'na yerleşti.
Bu üretici Almanya'nın TRUMPF Group'udur (TRUMPF), dünyanın tek lazer kaynağı tedarikçisi olan ASML'nin EUV litografisidir.
EUV litografide TRUMPF ürünleri ne kadar önemli? Öncelikle, EUV litografi ilkesini açıklamamı dinle, anlayacaksın.
Basitçe söylemek gerekirse, EUV litografi ilkesi üç ana sistem üzerinde toplanmıştır: EUV ultraviyole ışık kaynağı sistemi, objektif ayna sistemi ve masa sistemi.
Spesifik süreç, 13.5nm dalga boyundaki aşırı ultraviyole ışığı uyarmak için bir lazer kullanmaktır; bu daha sonra kontrollü bir ışık demeti oluşturmak üzere düzeltilir ve daha sonra objektif bir aynadan bir pozlama masasına yansıtılmadan önce bir fotomaske masasına yansıtılır. ve son olarak fotodirençle kaplanmış bir silikon gofret üzerindeki bir devreye kazındı.
EUV UV ışık kaynağı sistemlerinden birinin, bir kalay (Sn) metal damlacığını 30 kW gücünde bir CO2 lazerle bombardıman ederek, onu bir plazmaya buharlaştırarak ve son olarak 13,5 nm dalga boyunda EUV ışığı elde ederek nasıl elde edildiği.
Bu 30 kW CO2 lazer, dünyada tek olan TRUMPF tarafından sağlanmaktadır.
Bu CO2 lazeri hafife almayın, 457.329 parçaya sahip, sistemdeki kablo uzunluğu 7.322 metreye kadar ve ağırlığı 17.090 kg ki bu EUV litografideki en önemli çekirdek bileşenlerden biridir.
Şimdi TRUMPF bir fabrika kurmak için Çin'e koştu, niyet açık, yani Çin lazer pazarı hakkında iyimser ve hatta daha uzun vadeli, Çin litografi pazarı hakkında iyimser, gelecekte EUV litografi oluşturmak için Çin ile işbirliği yapabilir .
Aslında, fabrika kurmak için Çin'e giden birden fazla ASML tedarik zinciri var, KMWE ve diğer üreticiler var, ayrıca Çin'e fabrika kurmak için gidiyor.
Mevcut eğilime göre, iyimser bir şekilde, Çin'in litografi teknolojisinin ileriye doğru büyük bir adım atmasının çok uzun sürmeyebileceğini ve hatta EUV litografi çıktı hacminin de dört gözle bekleyebileceğini bekleyebiliriz, ne dersiniz?
