Son zamanlarda, Çin Bilimler Akademisi Mikrosistem ve Bilgi Teknolojileri Enstitüsü, entegre açı sensörleri ile hızlı yansıtıcı bir ayna geliştirdi. Ayna büyük bir boyuta, küçük bir paket hacmine, mükemmel performansa ve lazer uydu iletişiminde büyük bir potansiyele sahiptir.
Hızlı yansıtıcı aynanın gelişmesi yaklaşık beş yıl sürdü. Çift katmanlı heterojen entegrasyon ve gofret seviyesi bağ teknolojisini benimser ve hacmi sadece 1- yuan madeni paranın büyüklüğündedir.
Geleneksel mekanik hızlı yansıtıcı aynaların ve orijinal MEM'lerin hızlı yansıtıcı aynalarının teknik darboğazlarının üstesinden gelir ve uydu kaynaklı uygulamaların ultra yüksek performans göstergelerini karşılayan μRAD doğruluğuna sahip bir alan sınıfı ürün oluşturur.
Cep telefonu ekranından esinlenen ekip, çip üzerindeki açılı sensörleri entegre etmek için silikon piezoresistif gerinim prensibini kullandı ve yapısal inovasyon yoluyla, kiriş kontrolünün doğruluğunu optimize ederek duyarlılık%63 arttı.
Test sonuçları, belirli bir frekansta açı doğruluğunun standardı karşıladığını ve maksimum dinamik yüzey deformasyonunun sadece 2 nanometre olduğunu göstermektedir.
Yetkili, ayna yüzeyinde uzun mesafeli uydu lazer iletişiminin katı gereksinimlerini karşılayan bir futbol sahasının büyüklüğünde bir aynadaki tüm iniş ve çıkışlara eşdeğer bir benzetme yaptı.
