Lazer Temizlemenin Sınıflandırılması ve Yöntemleri

Substrat malzemesinin özelliklerine, substrat yüzeyinin doğruluğuna, yüzey pürüzlülüğüne ve partikül kirletici türlerine göre mevcut lazer temizleme yöntemleri aşağıdaki iki kategoriye ayrılabilir. 1) Lazer temizleme. Lazer, nesnenin yüzeyini doğrudan ışınlar, parçacıkları kirletir veya yüzeydeki enerjiyi emer ve ardından parçacıkların termal difüzyon, foto ayrışma ve gazlaştırma ile yüzeyden ayrılmasını sağlar. 2) Lazer temizleme. Temizlenecek malzemenin yüzeyine bir miktar kontamine olmayan sıvı (çoğunlukla su, bazen alkol) püskürtün ve ardından lazerle ışınlayın. Lazer enerjisini absorbe ettikten sonra, sıvı ortam patlayıcı buharlaşma üretecek ve etrafındaki kirletici partikülleri malzeme yüzeyinden uzaklaştıracaktır. Ek olarak, sözde lazer bileşiği temizleme yöntemi önerilmiştir. Lazerle temizleme, substrat malzemesi tarafından emilir ve daha sonra adsorbe edilmiş ara ortam, termal konveksiyon ile ısıtılır ve ara ortam, patlayıcı buharlaşma üretir. Yüksek hava akışı ile tahrik edilen partiküller, ara ortam ile birlikte substrat yüzeyinden ayrılır.