Substrat malzemesinin özelliklerine, substrat yüzeyinin doğruluğuna, yüzey pürüzlülüğüne ve partikül kirletici türlerine göre mevcut lazer temizleme yöntemleri aşağıdaki iki kategoriye ayrılabilir.
1) Lazer kuru temizleme yöntemi. Lazer doğrudan nesnenin yüzeyine ışınlanır, parçacıkları kirletir veya yüzeydeki enerjiyi emer ve sonra parçacıkların termal difüzyon, fotoğraf ayrışması ve gazlaştırma ile yüzeyden ayrılmasını sağlar.
2) Lazer ıslak temizleme yöntemi. Temizlenecek malzemenin yüzeyine bazı kirlenmemiş sıvıyı (özellikle su, bazen alkol) püskürtün ve lazerle ışınlayın. Lazer enerjisini emdikten sonra, sıvı ortam patlayıcı buharlaşma üretecek ve etrafındaki kirlilik partiküllerini malzeme yüzeyinden uzağa itecektir. Buna ek olarak, sözde lazer bileşik temizleme yöntemi önerilmiştir. Lazer enerjisi substrat malzemesi tarafından emilir ve daha sonra adsord ara orta termal konveksiyon ile ısıtılır ve ara orta patlayıcı buharlaşma üretir. Yüksek hava akımı ile tahrik, parçacıklar orta orta ile birlikte substrat yüzeyinden ayrılır.
